溅射靶材通常是由高纯度金属或化合物组成的材料。 其中最常见的材料是金属，如铜、铝、钛等。 这些金属材料具有高导电性和热传导性，适用于溅射工艺。 此外，还有一些化合物材料，如二氧化硅、氧化铝等，这些材料具有良好的绝缘性能和耐高温性能，常用于特定的溅射应用领域。 溅射靶材的选择取决于所需的溅射膜的特性和用途。